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当VOCs催化燃烧设备实际运行的时候，介质阻挡放电过程中，电子从电场中获得能量，通过碰撞将能量转化为污染物分子的内能或动能，这些获得能量的分子被激发或发生电离形成活性基团，同时空气中的氧气和水分在电子的作用下也可产生大量的态氢、臭氧和羟基氧等活性基团，这些活性基团相互碰撞后便引发了一系列复杂的物理、化学反应。从活性炭体的活性基团组成可以看出，活性炭体内部富含很高化学活性的粒子，如电子、离子、自由基和激发态分子等。废气中的污染物质与这些具有活性基团发生反应，较终转化为CO2和H2O等物质，从而达到净化废气的目的。
催化燃烧设备是一种除掉不好的气体及恶臭气体的一种装置，它具有运行成本不高、设备占地面积小，自重轻、无任意机械动作，无噪音等特点。催化燃烧设备的净化速率还不错，是目前市场上处理不好的气体较佳的RTO催化燃烧设备。如果是要处理浓度比较不错的废气的话，应当是配合水帘+废气洗涤塔+低温活性炭设备+光解式废气净化装置来共同处理，处理废气的净化速率还可以。
催化燃烧所用的催化剂为具有大比表面的贵金属和金属氧反应物多组分物质。例如家用负载Pd或稀土化合物的催化燃气灶，可减少尾气中CO含量，提升热速率。负载0.2%pt的氧反应铝催化剂，在500℃下，可将大多数有用化合物燃烧，脱臭净化到化学位移σ=1以下。
RCO催化燃烧器的燃烧方法有哪些？什么特点？
一、直接燃烧法：利用燃气或燃油等辅助燃料燃烧，将混合气体加热，使物质在高温作用下分解为物质；本法工艺简单、投资小，适用于浓度好、小风量的废气，但对稳定技术、操作要求较不错。
二、热力燃烧法：使用蓄热式热力氧化炉RTO进行处理废气，可以达到速率好节能的双重效果。适合处理废气的范围广。
三、纳米微电解氧化法：纳米微电解净化技术采用纳米级加工的压电性材料，在具有相应湿度的情况下，可以通过微电解电场产生纳米微电解材料的电性吸附并释放出大量羟基负离子对气体中的需氧类污染物进行净化，不仅可以除去空气中大部分物，而且还能分析如氨氮、硫化氢等无机臭气。
四、吸收法：一般采用物理吸收，即将废气引入吸收液进净化，待吸收液饱和后经加热、解析、冷凝回收；本法适用于大气量、低温度、低浓度的废气，但需配备加热解析回收装置，设备体积大、投资较不错。
五、催化燃烧法：把废气加热经催化燃烧转化成无臭的二氧化碳和水；本法起燃温度低、节能、操作方便、占地面积少、投资投资大，适用于高温或浓度好的废气。
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